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晶振片故障現(xiàn)象、原因及解決辦法
晶振片故障現(xiàn)象、原因及解決辦法
更新時間:2024-01-16
點擊次數(shù):1015
探頭故障現(xiàn)象
、
原因
及
排除方法
1、
沉積期間厚度讀數(shù)大跳變
a.
不良晶片產(chǎn)生
解決方案:
更換晶
片
b.
晶片接近其使用壽命
解決方案:
更換晶
片
c.
晶片支承座表面有雜物
解決方案:
用酒精或細(xì)砂皮清洗支承座
d.
來自濺射源的頻率干涉
解決方案:
檢查接地,儀器遠(yuǎn)離濺射
源
2、
沉積期間晶體停振,但晶片壽命未到
a.
晶片被來自鍍膜源熔化材料小熔
滴撞擊
解決方案:
鍍膜起始階段用檔板遮蔽
后移開
b.
不良晶片
解決方案:
更換晶片
c.
晶片支承座內(nèi)腔表面有雜質(zhì)
解決方案:
清洗
3
、晶體在真空中振蕩,單暴露空氣后停振
a.
晶體接近使用壽命,暴露空氣
導(dǎo)致
薄膜氧化而引起薄膜壓力增加
解決方案:
更換晶片
b.
晶片積累了過多水分
解決方案:
暴露空氣之前關(guān)掉探頭冷卻水
上一條
真空冷阱表面為什么會有水
下一條
直流負(fù)壓濺射和直流濺射有什么區(qū)別
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